Датчики расхода MEMS-MSH01
Категории продукции:
Ключевые слова:
Датчики расхода MEMS
Сведения о продукте
Описание продукта:
Датчик расхода основан на принципе теплопроводности. Конструкция датчика состоит из микроисточника тепла, расположенного на чувствительной тонкой пленке, датчика температуры выше по потоку и датчика температуры ниже по потоку, симметричного микроисточнику тепла, и датчика температуры окружающей среды, расположенного на кремниевой основе. Когда на поверхности датчика нет потока жидкости, поле температуры вокруг источника микро-тепла распределяется симметрично, например (a); когда на поверхности датчика течет жидкость, поле температуры вокруг источника микро-тепла нарушается из-за охлаждающего эффекта жидкости на источник микро-тепла, а верхнее и нижнее течение микродермического источника тепла асимметрично распределены, как показано на рисунке (b); чем больше скорость потока текучей среды, тем больше скорость потока, отбираемого газом от микроисточника тепла, и тем больше асимметрия температуры вокруг микроисточника тепла. Скорость потока текучей среды получается через разность температур датчика температуры вверх и вниз по течению.
- Широкий диапазон соотношения> 300:1
- Быстрая скорость отклика <5ms
- Сверхнизкий пусковой поток <0.05 м/с
- Высокая чувствительность Высокая точность выше +/-3% точность чтения
- Неподвижные детали, высокая надежность
- Подходит для чистых газов и жидкостей
- Медицинское дыхание, диагностическое оборудование
- Управление топливными элементами
- Расходомер воздуха автомобиля
- Бытовое газовое оборудование
- Анализатор масс-спектрометрии для газовой и жидкостной хроматографии
- ОВКВ
- Детектор утечки
- Промышленная автоматизация
Послать консультацию