Датчики расхода MEMS-MSH01


Категории продукции:


Датчик расхода основан на принципе теплопроводности. Конструкция датчика состоит из микроисточника тепла, расположенного на чувствительной тонкой пленке, датчика температуры выше по потоку и датчика температуры ниже по потоку, симметричного микроисточнику тепла, и датчика температуры окружающей среды, расположенного на кремниевой основе. Когда на поверхности датчика нет потока жидкости, поле температуры вокруг источника микро-тепла распределяется симметрично, например (a); когда на поверхности датчика течет жидкость, поле температуры вокруг источника микро-тепла нарушается из-за охлаждающего эффекта жидкости на источник микро-тепла, а верхнее и нижнее течение микродермического источника тепла асимметрично распределены, как показано на рисунке (b); чем больше скорость потока текучей среды, тем больше скорость потока, отбираемого газом от микроисточника тепла, и тем больше асимметрия температуры вокруг микроисточника тепла. Скорость потока текучей среды получается через разность температур датчика температуры вверх и вниз по течению.

Ключевые слова:

Датчики расхода MEMS

Сведения о продукте


Описание продукта:

Датчик расхода основан на принципе теплопроводности. Конструкция датчика состоит из микроисточника тепла, расположенного на чувствительной тонкой пленке, датчика температуры выше по потоку и датчика температуры ниже по потоку, симметричного микроисточнику тепла, и датчика температуры окружающей среды, расположенного на кремниевой основе. Когда на поверхности датчика нет потока жидкости, поле температуры вокруг источника микро-тепла распределяется симметрично, например (a); когда на поверхности датчика течет жидкость, поле температуры вокруг источника микро-тепла нарушается из-за охлаждающего эффекта жидкости на источник микро-тепла, а верхнее и нижнее течение микродермического источника тепла асимметрично распределены, как показано на рисунке (b); чем больше скорость потока текучей среды, тем больше скорость потока, отбираемого газом от микроисточника тепла, и тем больше асимметрия температуры вокруг микроисточника тепла. Скорость потока текучей среды получается через разность температур датчика температуры вверх и вниз по течению.

  • Широкий диапазон соотношения> 300:1
  • Быстрая скорость отклика <5ms
  • Сверхнизкий пусковой поток <0.05 м/с
  • Высокая чувствительность Высокая точность выше +/-3% точность чтения
  • Неподвижные детали, высокая надежность
  • Подходит для чистых газов и жидкостей
  • Медицинское дыхание, диагностическое оборудование
  • Управление топливными элементами
  • Расходомер воздуха автомобиля
  • Бытовое газовое оборудование
  • Анализатор масс-спектрометрии для газовой и жидкостной хроматографии
  • ОВКВ
  • Детектор утечки
  • Промышленная автоматизация

 

Послать консультацию